在過(guò)去的幾年中，實(shí)踐證明，數(shù)碼顯微鏡在微電子行業(yè)，尤其對(duì)印刷電路板 (PCB) 的檢測(cè)、質(zhì)量控制和保證 (QC/QA) 以及失效分析 (FA) 等工作大有裨益。近，隨著技術(shù)的發(fā)展，數(shù)碼顯微鏡在檢測(cè)過(guò)程中，愈發(fā)顯現(xiàn)其強(qiáng)大功能和*實(shí)用性，進(jìn)一步提高了工作效率。本文闡述了一些數(shù)碼顯微鏡功能的優(yōu)勢(shì)，例如，用于操作和分析的直觀軟件，快速、簡(jiǎn)便的放大倍率切換方式，以及可靠調(diào)用參數(shù)的編碼功能。

將印刷電路板 (PCB) 當(dāng)作樣品。

Leica DVM6 記錄的局部 PCB 樣品低放大倍率圖像。

顯示集成電路芯片和焊點(diǎn)的局部 PCB 三維圖像;利用 Leica DVM6 通過(guò) LAS X EDOF(擴(kuò)展景深)功能捕捉。亦可參見(jiàn)右側(cè)帶彩色 Z 標(biāo)尺的相同圖像。

與左側(cè)帶彩色 Z 標(biāo)尺相同的三維圖像。

Leica DVM6 數(shù)碼顯微鏡令用戶能夠更簡(jiǎn)單、更快速地記錄高品質(zhì)的可靠圖像數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)快速分析，提高了微電子部件檢測(cè)等方面工作的效率。本報(bào)告探討了 Leica DVM6 的下述功能是如何實(shí)現(xiàn)更快速、更可靠的工作流程的：

用于顯微鏡操作和數(shù)據(jù)分析的直觀軟件;

高效、快速實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)(12:1 至 2350:1)的放大倍率切換;

針對(duì)重要參數(shù)的編碼功能(自動(dòng)追蹤和存儲(chǔ))，例如，載物臺(tái)、光學(xué)器件、照明、相機(jī)設(shè)置等，以便隨時(shí)快速調(diào)用;

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