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SJ6000激光干涉儀精密測量儀器的測量軟件可以將線性測量結果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

中圖儀器GTS激光跟蹤儀設備將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結合，保證測量精度，并實現擋光恢復。在斷光時會在小范圍內自動搜索到目標球，完成斷光續接，自動鎖定目標球，全過程不需人為操作，提高測量效率。

SJ6000國產激光干涉儀器結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

GTS激光跟蹤測量儀將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結合，保證測量精度，并實現擋光恢復。不僅可以對靜止的空間目標進行高精度三維測量，還可以對運動的目標進行跟蹤測量。

SJ6000激光干涉測量儀在數控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據具體測量需求而選擇，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統測量手段難以實現的技術。

中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。