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SuperView W1三維光學(xué)成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測量。

SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

SJ5780一鍵粗糙度輪廓度測量儀是大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀器，可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力。

?中圖儀器W系列3d表面輪廓測量儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1三維輪廓測量儀可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)，在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，如光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

SJ5718形狀輪廓測量儀能實(shí)現(xiàn)對各種工件表面輪廓進(jìn)行測量和分析。為全自動測量設(shè)備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設(shè)定掃描的開始、掃描長度，點(diǎn)擊“開始”按鈕，測針會自動接觸工件表面，自動完成測量過程。