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VT6000系列3d成像激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度，并且還可以通過縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來消除背景噪聲。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000材料生產(chǎn)用共聚焦顯微鏡在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)準(zhǔn)確量測物體的三維數(shù)據(jù)。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列共聚焦激光掃描顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，儀器測量精度高；儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠，具有良好的測量重復(fù)性。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器3d白光光學(xué)干涉儀SuperViewW1雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

VT6000系列共聚焦掃描顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。