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光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器

簡要描述:SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-07
  • 訪  問  量:1135

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。與臺階儀相比具有以下優(yōu)點:

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進(jìn)行測量;

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。


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SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達(dá)0.1nm。



產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

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