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中圖儀器光學(xué)輪廓儀品牌SuperViewW1具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1光學(xué)表面3D輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1精密光學(xué)輪廓測量儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW13D光學(xué)白光干涉儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW1粗糙度光學(xué)輪廓儀的載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達(dá)0.1nm。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。